| 发明名称 | 划片机 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种划片机，包括两条平行的带有吸头的搬送手臂，在该两条搬送手臂之间有一条连接臂，该搬送手臂与硅片移动方向平行，该连接臂与硅片移动方向垂直。本发明能避免收纳搬送过程中水滴落在硅片表面，从而提高产品品质，降低产品不良率。 | ||
| 申请公布号 | CN101125447A | 申请公布日期 | 2008.02.20 |
| 申请号 | CN200610030099.5 | 申请日期 | 2006.08.15 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 钱育佳 |
| 分类号 | B28D1/22(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | B28D1/22(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾继光 |
| 主权项 | 1.一种划片机，包括两条平行的带有吸头的搬送手臂，在该两条搬送手臂之间有一条连接臂，其特征在于，所述的搬送手臂与硅片移动方向平行，所述的连接臂与硅片移动方向垂直。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 | ||