| 发明名称 | 振动镜,光写设备,以及成像装置 | ||
| 摘要 | 公开了一种能够稳定地调节谐振频率的振动镜。该振动镜包括框架、扭转梁、由扭转梁支撑并且安装在框架内的镜子衬底。镜子衬底能够以扭转梁作为中心轴振动，并且框架、扭转梁和镜子衬底集成在一起。此外，振动镜包括配置在框架上的弹性模量调节单元，用于调节扭转梁的弹性模量。 | ||
| 申请公布号 | CN101126837A | 申请公布日期 | 2008.02.20 |
| 申请号 | CN200710141811.3 | 申请日期 | 2007.08.13 |
| 申请人 | 株式会社理光 | 发明人 | 佐藤幸人 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01);G02B26/10(2006.01);G03G15/04(2006.01) | 主分类号 | G02B26/08(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张敬强 |
| 主权项 | 1.一种振动镜，包括：框架；扭转梁；由扭转梁支撑并且安装在框架内的镜子衬底，从而所述镜子衬底能够以扭转梁作为中心轴振动，框架、扭转梁和镜子衬底集成在一起；以及配置在框架上的弹性模量调节单元，用于调节扭转梁的弹性模量。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||