发明名称 一种能自动识别的基片架、识别方法及自动识别装置
摘要 本发明公开了一种基片架,包括基片架本体,在基片架本体上开设有一组与基片架的编号相对应的能使光信号穿过的条形光栅孔编码。本发明还公开了一种对连续镀膜生产线基片架的自动识别方法,包括如下步骤:1)通过光电开关检测在运动的基片架上开设的条形光栅孔编码,将条形光栅孔编码信息转换成对应的电脉冲信号;2)对电脉冲信号进行隔离整形;3)根据隔离整形后的电脉冲信号计算条形光栅孔编码信息;4)通过显示器显示或通过通信口传送步骤三输出的编码信息。本发明还公开了一种对连续镀膜生产线基片架的自动识别装置。采用本发明,结构简单、便于识别。
申请公布号 CN101126153A 申请公布日期 2008.02.20
申请号 CN200610062223.6 申请日期 2006.08.18
申请人 深圳豪威真空光电子股份有限公司 发明人 许生;曹志刚
分类号 C23C14/54(2006.01);G06K19/06(2006.01) 主分类号 C23C14/54(2006.01)
代理机构 深圳创友专利商标代理有限公司 代理人 彭家恩
主权项 1.一种基片架,包括基片架本体,其特征在于:在基片架本体上开设有一组与基片架的编号相对应的能使光信号穿过的条形光栅孔编码。
地址 518054广东省深圳市南山区深南大道市高新技术工业村W1A区一楼