发明名称 |
通过激光烧蚀加工材料的方法和通过该加工方法加工的材料 |
摘要 |
为了易于控制激光脉冲宽度和进行高精度加工,依照本发明的通过激光烧蚀加工材料的方法的特征为:当采用沿水平轴以皮秒描绘的激光脉冲宽度和沿垂直轴以J/cm<SUP>2</SUP>描绘的烧蚀阈值的双对数图表示激光脉冲宽度与烧蚀阈值之间的关系时,具有双对数图显示出斜度不大于0.5的直线形状的线的区域的材料通过具有在该区域内的激光脉冲宽度的脉冲激光束来加工。 |
申请公布号 |
CN101128280A |
申请公布日期 |
2008.02.20 |
申请号 |
CN200680006147.5 |
申请日期 |
2006.02.23 |
申请人 |
住友电气工业株式会社 |
发明人 |
三岛英彦;增田泰人;奥田泰弘;绵谷研一;阪部周二;桥田昌树;清水政二 |
分类号 |
B23K26/40(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/40(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种通过采用脉冲激光束的激光烧蚀加工材料的方法,其中当采用沿水平轴以皮秒描绘的激光脉冲宽度且沿垂直轴以J/cm2描绘的烧蚀阈值的双对数图表示激光脉冲宽度与烧蚀阈值之间的关系时,具有所述双对数图显示出斜度不大于0.5的直线形状的线的区域的材料通过具有在所述区域内的激光脉冲宽度的脉冲激光束来加工。 |
地址 |
日本大阪府 |