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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR LIQUID TREATMENT OF WAFER-SHAPED ARTICLES
摘要
申请公布号 EP1889284(A1) 申请公布日期 2008.02.20
申请号 EP20060755246 申请日期 2006.05.18
申请人 SEZ AG 发明人 BALDY, ANDREAS;GIGACHER, MARKUS;BRUGGER, MICHAEL
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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