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发明名称 COPPER PASSIVATING POST-CHEMICAL MECHANICAL POLISHING CLEANING COMPOSITION AND METHOD OF USE
摘要
申请公布号 EP1888735(A1) 申请公布日期 2008.02.20
申请号 EP20060771152 申请日期 2006.05.25
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 BARNES, JEFFREY;WALKER, ELIZABETH;PETERS, DARRYL;BARTOSH, KYLE;OLDAK, EWA;YANDERS, KEVIN P.
分类号 H01L21/02;C11D1/62;C11D3/26;C11D3/30;C11D7/32;C11D11/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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