液体收集装置

摘要

本发明涉及一种液体收集装置，尤其是一种可以把半导体生产线的湿式工作站所生成的流体分离成液体与气体后再排放的液体收集装置。本发明的液体收集装置包括：引入管，其一端安装在湿式工作站的气体管路上，另一端则安装在收集筒上；收集筒，用于收集经过上述引入管流入的气体中的收集飞溅液体成分；液体收集管，位于上述收集筒的下表面，用于将收集到的液体成分排放到外部；以及排气管，在上述引入管的相对方向，安装在上述收集筒上，上述收集筒还包括：上翼板，安装在上述引入管的上部并延伸到上述引入管的一定的直径区；以及下翼板，与上述上翼板间隔开。

主权项

1.一种液体收集装置，其特征在于包括：引入管，其一端安装在湿式工作站的气体管路上，另一端则安装在收集筒上；收集筒，用于收集通过所述引入管流入的气体中的收集飞溅液体成分；液体收集管，设置在所述收集筒的下表面，用于将收集到的液体成分排放到外部；以及排气管，在所述引入管的相对方向，安装在所述收集筒上，其中，所述收集筒还包括：上翼板，安装在所述引入管的上部并延伸到所述引入管的一定的直径区；以及下翼板，与所述上翼板间隔开。