发明名称 真空镀膜箱
摘要 本实用新型公开的是真空镀膜箱。它包括箱体,该箱体为圆柱形,其顶板的下表面中心和底板上分别有探头和蒸发器,顶板与底板之间有用于放置被镀零件的支撑板。支撑板的边沿与箱体内壁间留有间距,其上有中心孔,该中心孔与探头对应且中心孔的直径大于探头。支撑板上还均布有通孔。其特点是底板上有支架,支架上有挡板,该挡板可沿支架上下移动。挡板上有中心孔,其上还均布有通孔。采用这种真空箱镀制光学薄膜,性能较好。适用于对用于光学薄膜的镀制。
申请公布号 CN201024209Y 申请公布日期 2008.02.20
申请号 CN200720036586.2 申请日期 2007.03.30
申请人 江苏北方湖光光电有限公司 发明人 查家明;徐洪爽
分类号 C23C14/24(2006.01);G02B1/10(2006.01) 主分类号 C23C14/24(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.真空镀膜箱,包括箱体(9),该箱体为圆柱形,其顶板的下表面中心和底板上分别有探头(2)和蒸发器(8),顶板与底板之间有用于放置被镀零件(1)的支撑板(4);支撑板(4)的边沿与箱体(9)内壁间留有间距,其上有中心孔(3),该中心孔与探头(2)对应且中心孔(3)的直径大于探头(2);支撑板(4)上还均布有通孔;其特征在于底板上有支架(7),支架(7)上有可沿其上下移动的挡板(5),挡板(5)上有中心孔,其上还均布有通孔。
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