| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR ANALYZING POWER FLOW IN SEMICONDUCTOR PLASMA GENERATION SYSTEMS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1889279(A1) |
申请公布日期 |
2008.02.20 |
| 申请号 |
EP20060770175 |
申请日期 |
2006.05.10 |
| 申请人 |
BIRD TECHNOLOGIES GROUP INC. |
发明人 |
SWANK, JOHN, D. |
| 分类号 |
G01R21/133;H01J37/32;G01R23/00 |
主分类号 |
G01R21/133 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
