氧化锌薄膜制备方法

摘要

本发明公开了一种材料技术领域的氧化锌薄膜制备方法，步骤为：第一步，制备前驱体溶液：称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中，在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子充分络合，然后去塞，加入乙二醇，持续加热并搅拌，待溶液冷却后，加入乙醇并于保温。第二步，薄膜的基本制备工艺为：在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液，待乙醇基本挥发完毕后摊胶，然后预烧初步去除有机物，过程重复以达到目标厚度，最后退火。本发明采用改进的水基Pechini方法制备出了高质量的ZnO薄膜。除了采用去离子水作为溶剂外，乙醇被用来改善前驱体溶液的性质以提高薄膜的质量。

主权项

1.一种氧化锌薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，制备前驱体溶液：称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中，混合溶液在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子Zn2+充分络合，然后去塞，加入乙二醇，溶液持续加热并搅拌直到剩余溶液阳离子Zn2+浓度为0.7M，待溶液冷却后，加入乙醇并于水浴中具塞保温；第二步，薄膜的基本制备工艺为：在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液，待乙醇基本挥发完毕后摊胶，然后预烧初步去除有机物，过程重复以达到目标厚度，最后退火。