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发明名称
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
EP1396879(B1)
申请公布日期
2008.02.20
申请号
EP20020730788
申请日期
2002.05.30
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD
发明人
KASHINO, HISASHI
分类号
H01L21/205;H01L21/00;H01L21/687
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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