| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к электронной технике и предназначена, в частности, для нагрева подложки в процессе нанесения на нее тонких пленок. Предлагаемая полезная модель решает задачу усовершенствования существующей конструкции нагревателя. В частности - разогревает подложку до 1000-1200°С и создает равномерный градиент температуры на ее поверхности. Для этого нагревательный элемент выполнен из пиролитического графита, а один из токопроводов, с которым он контактирует, выполнен подвижным, (движется по направляющей), что позволяет нагревательному элементу удлиняться в продольном направлении, двигаясь вместе с токопроводом. При этом нагревательный элемент не выгибается. Нагреватель можно поворачивать вокруг оси и устанавливать под нужным углом к потоку напыляемого на подложку материала. Каждый токопровод выполнен составным и включает в себя медную шину и электрически контактирующую с ней пластину из пористого графита.</p> |
