| 发明名称 | 用于气流测量的方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于测量气流的方法和装置。在一个实施方式中，用于气体控制的校准线路可用于验证和/或校准用于背面冷却、处理气体分配、清洗气体分配、清洁剂分配、载体气体分配和补救气体分配等的气流。 | ||
| 申请公布号 | CN101127296A | 申请公布日期 | 2008.02.20 |
| 申请号 | CN200710140455.3 | 申请日期 | 2007.08.14 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | 贾里德·阿曼德·李;埃兹拉·罗伯特·古德;张春雷;詹姆斯·帕特里克·克鲁斯;理查德·查尔斯·福韦尔 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1.一种用于测量具有处理腔的处理系统中气流的装置，包括：气体源；具有入口、第一出口和第二出口的分流阀，所述第二出口与所述处理腔联接；流动联接于所述气体源与所述分流阀的所述入口之间的调节装置；流动联接于所述分流阀的所述第一出口的孔板，所述孔板具有与所述处理腔相同的流阻；以及配置用于接收通过所述孔板的气流的传感线路。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||