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发明名称 ENERGY FILTER IMAGE GENERATOR FOR ELECTRICALLY CHARGED PARTICLES AND THE USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP1559126(B9) 申请公布日期 2008.02.20
申请号 EP20030775291 申请日期 2003.11.04
申请人 OMICRON NANO TECHNOLOGY GMBH;FOCUS GMBH, GERAETE ZUR ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE UND OBERFLAECHENANALYTIK 发明人 FUNNEMANN, DIETMAR;ESCHER, MATTHIAS
分类号 H01J37/05;H01J37/295;H01J49/48 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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