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发明名称
Process for polishing dissimilar conductive layers in a semiconductor device
摘要
申请公布号
EP0871214(B1)
申请公布日期
2008.02.20
申请号
EP19980104878
申请日期
1998.03.18
申请人
FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.
发明人
BAJAJ, RAJEEV;FARKAS, JANOS;KIM, SUNG C.;SARAVIA, JAIME
分类号
H01L21/304;H01L21/321
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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