发明名称 Process for polishing dissimilar conductive layers in a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0871214(B1) 申请公布日期 2008.02.20
申请号 EP19980104878 申请日期 1998.03.18
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 BAJAJ, RAJEEV;FARKAS, JANOS;KIM, SUNG C.;SARAVIA, JAIME
分类号 H01L21/304;H01L21/321 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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