发明名称 晶圆隔离环
摘要 本实用新型属于晶圆隔离保护部件,具体为一种晶圆隔离环。其结构是在圆形环体的边缘设有支撑台,支撑台上设有若干个透气槽。使用此隔离环后,晶圆中间部分不与物体接触,极大的减少了晶圆与其他物体的接触面积,从而有效的保护晶圆不被污染、划伤。
申请公布号 CN201023813Y 申请公布日期 2008.02.20
申请号 CN200720143770.7 申请日期 2007.04.05
申请人 义柏科技(深圳)有限公司 发明人 陈松平;刘汝拯;邱摩西;何江波
分类号 B65D57/00(2006.01);B65D81/05(2006.01);B65D85/30(2006.01) 主分类号 B65D57/00(2006.01)
代理机构 北京捷诚信通专利事务所 代理人 魏殿绅;庞炳良
主权项 1.一种晶圆隔离环,其特征在于:在圆形环体的边缘设有支撑台(2),支撑台(2)上设有若干个透气槽(3)。
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