发明名称 | 晶圆隔离环 | ||
摘要 | 本实用新型属于晶圆隔离保护部件,具体为一种晶圆隔离环。其结构是在圆形环体的边缘设有支撑台,支撑台上设有若干个透气槽。使用此隔离环后,晶圆中间部分不与物体接触,极大的减少了晶圆与其他物体的接触面积,从而有效的保护晶圆不被污染、划伤。 | ||
申请公布号 | CN201023813Y | 申请公布日期 | 2008.02.20 |
申请号 | CN200720143770.7 | 申请日期 | 2007.04.05 |
申请人 | 义柏科技(深圳)有限公司 | 发明人 | 陈松平;刘汝拯;邱摩西;何江波 |
分类号 | B65D57/00(2006.01);B65D81/05(2006.01);B65D85/30(2006.01) | 主分类号 | B65D57/00(2006.01) |
代理机构 | 北京捷诚信通专利事务所 | 代理人 | 魏殿绅;庞炳良 |
主权项 | 1.一种晶圆隔离环,其特征在于:在圆形环体的边缘设有支撑台(2),支撑台(2)上设有若干个透气槽(3)。 | ||
地址 | 518115广东省深圳市龙岗区横岗镇保安村同富裕工业区简龙路2号第五栋 |