摘要 |
〔课题〕提供经削减LTPS TFT图案化步骤数的主动矩阵式显示装置。〔解决手段〕本发明的主动矩阵式显示装置系包括:具有在绝缘基板1上形成的源极区域2a、汲极区域2c及通道区域2b之复晶矽层2;形成于复晶矽层2上的闸极绝缘层4;形成于闸极绝缘层4上的闸极电极5;形成于闸极电极5上的层间绝缘层7;以及透过在层间绝缘层7中所设置的接触洞12,耦接于源极区域2a与汲极区域2c的布线层9。且,利用绝缘基板1上所形成的第1像素电极3a、闸极绝缘层4与闸极电极5、以及在同一层所形成的电容器上电极6,而构成电容器。 |