多腔室排出调控方法与设备

摘要

本发明系提供一种操作多腔室模组之方法，且该多腔室模组包括一第一腔室、一第二腔室以及一设置在第一腔室与第二腔室之间的分配臂区域。该方法包括：将一制程气体流入第一腔室、第二腔室及分配臂区域。该方法亦包括：利用一与一共用排气装置为流体连通的第一排气通道而将第一气体自第一腔室排出；利用一与该共用排气装置为流体连通的第二排气通道而将第二气体自第二腔室排出；以及利用一与该共用排气装置为流体连通的分配臂区域排气装置而将第三气体自分配臂区域排出。本方法更包括：监控在第一腔室中的第一腔室压力、在第二腔室中的第二腔室压力，及在分配臂区域中的分配压力；以及调整流经第一排气通道、第二排气通道及分配臂区域排气装置至少其中之一者的一流速，以使第一腔室压力与第二腔室压力维持在高于该分配压力的一数值。