感光性树脂积层体

摘要

本发明提供一种感光性树脂积层体，其表现出高解析性及高密着性，具有光阻图案之侧壁无翘起、光阻图案表面无凹陷且显影后之晕光极小之特性，且于支持膜之剥离性上无问题。本发明系使用一种感光性树脂积层体，其特征在于，其系于支持膜上依序积层有层厚为0.1μm以上、10μm以下之中间层及感光性树脂层而成之感光性树脂积层体，该中间层系含有聚乙烯醇及特定之化合物而成。