新颖的奈米颗粒图案化方法

摘要

本发明系关于一种制作一金属化图案（250）之方法，其包含：将一层光阻剂（130）沈积于一基板（110）上；于该光阻剂上形成一图案：将一层金属奈米颗粒（190）沈积于该光阻剂及图案上；移除该光阻剂及该光阻剂上之覆盖金属奈米颗粒；及烧结该等残留奈米颗粒以形成一金属化图案。