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发明名称
光学元件及光学装置
摘要
本发明之光学元件(40)包含:基板(10);磁致伸缩膜(11),其系配置于基板(10)上,膜厚随磁场强度而变动;及反射膜(15),其系配置于磁致伸缩膜(11)上,将光反射。本发明之光学装置包含:载台(41),其系载置光学元件(40),在光学元件(40)之载置面具有排列有复数孔之支持体(141);复数磁场产生部(61),其系埋入支持体(141)之复数孔;及控制机构(150),其系控制复数磁场产生部(61)个别产生之磁场,控制光学元件(40)之磁致伸缩膜(11)之膜厚。
申请公布号
TW200809423
申请公布日期
2008.02.16
申请号
TW096114625
申请日期
2007.04.25
申请人
东芝股份有限公司
发明人
俵山和雄;东木达彦;东川岩
分类号
G03F7/20(2006.01);G03B27/52(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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