可变狭缝装置、照明装置、曝光装置、曝光方法以及元件制造方法

摘要

一种可变狭缝装置20，用以形成具有长度方向及宽度方向的狭缝形状的照明光，该可变狭缝装置20包括第1光强度分布设定部21、第2光强度分布设定部22以及选择部件23、24；其中，上述第1光强度分布设定部21设定第1光强度分布，亦即沿着上述狭缝形状的上述长度方向的一对外缘部中之一个外缘部21a的光强度分布；上述第2光强度分布设定部22设定第2光强度分布，亦即上述一对外缘部中的另一个外缘部22a的光强度分布；上述选择部件23、24选择具有上述第1光强度分布的光束的第1部分、以及具有上述第2光强度分布的光束的第2部分。