电浆处理装置及使用于该装置之电极

摘要

〔课题〕对应于平面显示器用基板之电浆处理的种类和处理条件进行最佳的处理气体之供给。〔解决手段〕被配置在处理室200内的上部电极300具备：对向于下部电极212的电极板310、支撑电极板的电极支撑体320、在电极支撑体中形成在与电极板之间，且导入处理气体的缓冲室330、以及用以将缓冲室330区划成复数个室之环绕状的区划壁350，区划壁系被夹入保持在电极支撑体与电极板之间为其特征。