用于处理脉冲雷射光束以产生孔径穿透微透镜阵列之方法和装置及以其制成之产品

摘要

本发明揭示一种脉冲雷射光束，其系用来在一于其前侧上包含一微透镜阵列的基板的背侧上的一层之中产生孔径。该脉冲雷射光束会被聚焦在一真空空间滤波器之中。从该真空空间滤波器所发出的脉冲雷射光束的轮廓会被转换成高帽状轮廓。具有高帽状轮廓的雷射光束会扩散。最后，该已扩散之具有高帽状轮廓的脉冲雷射光束便会照射穿过该基板前侧之上的该微透镜阵列并且被照射在该基板背侧上的该层之上。本发明还说明用于产生孔径的相关装置与微透镜阵列产品。