| 摘要 |
一种真空泵送系统，其包含一用于自一室之一出口接收一气流之一级前级管线、一用于排空该室之第一真空泵、一用于排空该室之第二真空泵、一将气体自该一级前级管线输送至该第一真空泵之第一二级前级管线、一将气体自该一级前级管线输送至该第二真空泵之第二二级前级管线，及用于选择性地将自该第一及第二二级前级管线中之一选者连接至该一级前级管线之阀门构件。在使用期间监视该等真空泵之状况。当真空泵两者皆正常运作时，该阀门构件经控制以将一富含第一反应物之气体自该一级前级管线转至该第一二级前级管线中，并将一富含第二反应物之气体自该一级前级管线转至该第二二级前级管线中，藉此抑制该第一及第二反应物在该等真空泵内混合。然而，在该等真空泵中之一者之状况指示该等泵中之一者很可能会在该室内之一当前制程期间发生故障之情形下，该阀门构件经控制以将该富含第一反应物之气体及该富含第二反应物之气体两者转至另一真空泵，藉此防止该室内一组基板之潜在昂贵损坏。 |
