臭氧制造方法及其于工业制程上之用途

摘要

本发明提供一种制造可在工业制程中用以自气流移除污染物之臭氧的改良之方法。该改良之方法系在臭氧产生系统之后使用一分离装置而将臭氧与氧气分离，且将臭氧引导至工业制程并将氧气引导回进入臭氧产生系统之馈料流。该改良之方法进一步提供使用如此产生之臭氧自工业制程废气流移除污染物。