| 摘要 |
课题提供减少被排出至抽气槽的涂布液(药液)的量且效率优异的药液供应方法。解决手段在时刻t1，将开闭阀11作成打开，同时正转泵9的电动机而将储存空间S的容积徐徐地变大。这样子，通过脱气组件8的涂布液经由涂布液供应配管10被供应至定量泵9的储存空间S。又在涂布液储存空间S达到所定容积的时刻t2一旦停止泵9的电动机，同时地关闭开闭阀11，而从时刻t2经两秒钟之后，再将泵9的电动机再予以正转，俾扩大涂布液储存空间S的容积，并填充涂布液。此时，开闭阀14、17也在关闭状态之后，因而涂布液储存空间S是成为密闭空间，而扩大涂布液储存空间S的容积，涂布液储存空间S内的压力是降低。之后，在时刻t5，将开闭阀17作成打开，开放涂布液储存空间S内的残压，将剩余的涂布液回收至槽19。 |
