电浆处理方法及装置

摘要

供给惰性气体及处理气体至处理容器内，而于电浆的存在下对被处理体W施以所定的处理例如成膜处理时，依序实施：点然压力设定工程，其系开始供给惰性气体至处理容器内之后将处理容器内的压力设定成可点燃电浆的压力；电浆点燃工程，其系开始供给处理气体至处理容器内，且在因处理气体的分压增大而不能点燃电浆之前点燃电浆；压力调整工程，其系使处理容器内的压力变化成用以进行上述所定的处理之制程压力；及处理执行工程，其系将为了点燃维持电浆而供给的电浆电力变更成用以进行上述所定的处理之电浆电力的值，而进行上述所定的处理。由于从处理执行工程的开始后接着上述所定的处理会对被处理体有效地实施，因此可使生产能力大幅度提升。