| 摘要 |
沿着切断预定线使改质区域于加工对象物之厚度方向形成多数列时，可使最接近第１面的第１改质区域及最接近第２面的第２改质区域以良好精确度形成。于本实施形态的雷射加工方法中，系在加工对象物１之内部调整聚光点照射电射光，而沿着上述加工对象物１之切断预定线５，使成为切断起点之改质区域M1～M6形成于上述加工对象物１之厚度方向。该改质区域M1～M6之中，最接近背面21的改质区域M6以背面21之位置为基准形成，最接近表面11a的改质区域M1以表面11a之位置为基准形成。如此则，即使加工对象物１之厚度变化时，改质区域M6之位置及改质区域M1之位置因为加工对象物１之厚度变化而引起之偏移可被仰制。 |
