自动决定反应炉管之清洁制程终点的方法

摘要

一种自动决定反应炉管之清洁制程终点的方法，其适用于一低压化学气相沈积机台。本发明之方法为，将一清洁气体导入反应炉管中，使清洁气体在一特定温度下产生一化学反应。然后，连续量测反应炉管之多个位置的温度。接着，监控其中之一的上述位置的温度变化，直至温度收敛到特定温度的允许偏差值内。继之，监控全部的上述位置的温度变化，至温度收敛到特定温度的允许偏差值内。接着，进行一段时间的一过蚀刻步骤，即停止反应炉管之清洁制程。