| 摘要 |
[课题]本发明提供一种藉由对正而避免基板的变形与破损的对正装置以及使用该对正装置的曝光装置。[解决手段]本发明之对正装置包括：一台座（2、3），保持二维平面的方形基板（W），以正交于二维平面的轴为中心旋转，且于该二维平面内的第一方向上移动；一第一摄影装置（4a、4b），对配置于方形基板的一边的边缘的彼此分离的位置做摄影，并输出二个位置的边缘影像；一第二摄影装置（4c），对与上述一边相交的另一边的边缘一个位置做摄影，并输出一个位置的另一边缘影像；一影像处理电路（100），对边缘影像及另一边缘影像做影像处理；以及一控制部（20），根据影像处理装置的输出而控制台座。 |
