摘要 |
本发明之目的系提供一种适合大画面用的液晶显示器(LCD)之正型感光性组成物及图案形成方法。本发明系关于一种正型感光性组成物,其系对于365nm和405nm中之至少任一波长具有敏感度,且系包含硷难溶性树脂、含氮硷性化合物、光酸产生剂和界面活性剂,且该界面活性剂系含有具有氟原子及矽原子中之至少任一者之化合物:以及一种图案形成方法,其系包括使用该正型感光性组成物在基材表面上形成正型感光层之正型感光层形成步骤,不使用光罩而将该正型感光层加以曝光之曝光步骤,及将该曝光步骤所曝光的正型光阻层进行显影之显影步骤。 |