发明名称 | 基板传输装置 | ||
摘要 | 本发明系为一种基板传输装置,包括一腔体、一设置于腔体外部之旋转轮、一设置于旋转轮上之第一磁铁、一设置于腔体内部之承载板、以及一设置于承载板上之第二磁铁。 | ||
申请公布号 | TW200808634 | 申请公布日期 | 2008.02.16 |
申请号 | TW095129550 | 申请日期 | 2006.08.11 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 锺允昇;董福庆;黄信紘 |
分类号 | B65G49/05(2006.01) | 主分类号 | B65G49/05(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |