发明名称 基板传输装置
摘要 本发明系为一种基板传输装置,包括一腔体、一设置于腔体外部之旋转轮、一设置于旋转轮上之第一磁铁、一设置于腔体内部之承载板、以及一设置于承载板上之第二磁铁。
申请公布号 TW200808634 申请公布日期 2008.02.16
申请号 TW095129550 申请日期 2006.08.11
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 锺允昇;董福庆;黄信紘
分类号 B65G49/05(2006.01) 主分类号 B65G49/05(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号