变向装置

摘要

一种变向装置，该变向装置包含：第一输送通路3与第二输送通路4，其中，该输送通路之一系被装设在相同于第一输送轨16的直立位置处，另一该输送通路系被装设低于该输送通路之一；一旋转单位22，绕着该等输送通路3、4之中点而旋转该输送通路；一昇降单位23，在直立方向上昇降该等输送通路3、4；以及，一控制单位21。该控制单位21控制使得当FOUP5自该输送轨16被运出至被装设在相同于输送轨16的直立位置处之该输送通路时，以大约90度旋转该等输送通路3、4、自该输送通路之一运出该FOUP5、且交换该第一输送通路3与第二输送通路4的个别直立位置。