具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法

摘要

一种具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法，其包括下列步骤：一．沉积第一高分子材料层步骤、二．第一次曝光显影步骤、三．沉积铬层步骤、四．沉积金层步骤、五．移除第一光阻层步骤、六．沉积第二高分子材料层步骤、七．第二次曝光显影步骤、八．电浆蚀刻步骤、九．移除第二光阻步骤以及十．完成步骤，如此兼具高分子材料可保护微感测器、可在特定位置上设置微感测器，以及整体制程成本较低等功效。