探针组合体

摘要

本发明提供一种适合高频检测、并提供超速传动大的探针组合体，因此，具有构成母材的树脂胶膜、形成于树脂胶膜上并包含垂直探针的导电体所构成的导电图样、具有直线或曲线形状且能使其一端为固定端而另端为连接垂直探针的导电梁、以及与导电梁呈概略平行延伸的变形梁，前述导电梁与变形梁以机械性加强固定于垂直探针附近，且由具有平行弹簧结构的单撑梁所构成；此外，前述导电梁与变形梁具有导电性或非导电性的电气特性，使层叠数片前述内含垂直探针树脂胶膜的复数梁合成型探针组合体得以实施。