基板处理装置

摘要

本发明系于具备狭缝喷嘴之基板处理装置中，恰当地搬送基板。于本发明之基板处理装置中，设置有作为搬送单元之搬送机械臂21及将药液涂布于基板上之涂布单元10。并且，将搬送机械臂21与涂布单元10配置成排列于对于涂布方向(Ｘ轴方向)垂直之方向(Ｙ轴方向)上。搬送机械臂21藉由机械手212之夹盘213而保持基板。机械手212藉由第1臂214及第2臂215而于Ｙ轴方向上进退。又，升降机构216根据须要而升降臂部211，旋转机构219后臂部211以轴Ｏ为中心旋转，藉此变更臂部211之进退方向(方位)。