晶舟辅助装置

摘要

一种晶舟的辅助装置，其主要构造系至少包括有一底座，用以定位一设有复数个晶舟沟槽之晶舟；一侧壁设置于底座的侧边；一导轨框在对应于各个晶舟沟槽之位置分别设有一导轨槽，且各个导轨槽之一端的宽度系向导轨槽中间呈现渐缩之态样；以及一枢接器，一端连接于侧壁，另一端连接于导轨框，使得该导轨框得以相对侧壁旋转，而可将导轨框之各个导轨槽分别串接其所对应之晶舟沟槽。藉由本发明之晶舟辅助装置，使用者由晶舟取放晶圆框架时，可藉由导轨槽的宽度来导引晶圆框架，使晶圆不至于因取出或置入之角度而造成碰触、摩擦或刮伤。