微影图案化的方法及其应用

摘要

一种微影图案化的方法，包括：于基材上形成第一材质层；于第一材质层上形成具有至少一开口的第一图案化光阻层；于第一图案化光阻层和第一材质层上方形成第二材质层；于第二材质层上形成具有至少一开口的第二图案化光阻层；以及蚀刻第一材质层和第二材质层未被第一图案化光阻层和第二图案化光阻层所覆盖的部份。