制程资讯管理装置及记录媒体

摘要

先前之制程资讯管理装置中，使用者不能同时概观多数量控制装置之多数量处方内容是否相同。藉由本发明之制程资讯管理装置，使用者可同时概观多数量控制装置之多数量处方内容是否相同。本发明之制程资讯管理装置，分别对应2以上之控制装置储存有前述2以上之控制装置保持之关于制程资讯之2以上之处方，且储存有成为基准之处方的主处方，前述2以上之控制装置系分别控制对于被处理基板实行特定制程之2以上之处理装置者；且就前述2以上之每个处方，获取关于前述主处方与前述2以上之处方之异同之资讯之异同资讯，并就前述2以上之每个处方，输出前述获取之异同资讯，且不输出关于前述2以上之处方内容之步骤差异之资讯。