流体及其形成方法

摘要

本发明揭示用于湿浸式微影系统中之流体及其形成方法。依据一较佳实施例，一种用于湿浸式微影术的流体包含一液体及设置于该液体中的复数个第一原子。该复数个第一原子包括至少一组复数个第一原子，该复数个第一原子经排列成富勒烯（fullerene）之形状，该富勒烯具有一内部空间。至少一第二原子设置在排列成富勒烯之形状的该至少一组复数个第一原子的内部。