操控工具及在操控工具上形成单元之方法及系统

摘要

本发明揭示操控工具及在操控工具上形成单元之系统及方法。一范例性方法包括从一雷射发射一第一雷射光脉冲持续一第一预定时间间隔，使得该第一雷射光脉冲之至少一部分在该操控工具上形成该单元。该单元具有一在10至100微米范围内之开口大小及一小于或等于1.25之纵横比。