电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

本发明之电浆处理装置，其特征为具备：处理容器，开设有天井部，内部可抽成真空；载置台，设于上述处理容器内，用于载置被处理体；天板，气密安装于上述天井部之开口，由可透过微波之介电体构成；气体导入手段，用于对上述处理容器内导入必要之气体；平面天线构件，设于上述天板之部上面，为将特定传导模态之微波导入上述处理容器内而形成有微波放射用缝隙；附加缝隙之导波管，设于上述天板之周边部上面，为将和上述平面天线构件所导入微波不同传导模态之微波导入上述处理容器内而形成有微波放射用缝隙；及微波供给手段，用于将微波供给至上述平面天线构件与微波附加缝隙之导波管。