发明名称 | 记录装置、记录控制讯号生成装置、转印模具之制造方法、转印模具及磁碟 | ||
摘要 | [课题]不须进行遮没,以消除射束电流的漏失,提升产能。[解决手段]在描绘图案较疏的区间R2系使基板周方向之移动速度Vsub及射束偏向速度Vbeam较快,在较密区间R1、R3则使Vsub及Vbeam较慢,藉此以消除遮没控制部31所作的遮没。此时,于欲将描绘图案在径方向形成较粗的区间R6中,系在描绘速度设定手段47上将描绘速度Vexp设定成慢于区间R4、R5,藉由使Vsub相对较慢于Vexp为约略一定时的情形,就可实现较粗描绘。 | ||
申请公布号 | TW200809854 | 申请公布日期 | 2008.02.16 |
申请号 | TW096108994 | 申请日期 | 2007.03.15 |
申请人 | 先锋公司 | 发明人 | 加园修 |
分类号 | G11B7/26(2006.01) | 主分类号 | G11B7/26(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |