用于与高密度电浆机台之制程腔体衔接的气体管路设计

摘要

本发明系揭露一种用于与高密度电浆机台之制程腔体衔接的气体管路设计，其系于制程腔体与气体流量控制器间加设一外加管路与抽气帮浦，以抽除泄漏残留于气体注入管路内且含量为气体流量控制器所无法监控的气体，以避免后续进行沈积制程时，残留气体可能与制程气体反应而产生爆炸或污染沈积薄膜。