发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'OBJETS SUB-MICROMETRIQUES SUSPENDUS ET APPLICATION A LA CARACTERISATION MECANIQUE DESDITS OBJETS
摘要
申请公布号 FR2887243(B1) 申请公布日期 2008.02.15
申请号 FR20050051622 申请日期 2005.06.15
申请人 ALTIS SEMICONDUCTOR SNC 发明人 VEKEMAN PIERRE;LEFEBVRE SIDONIE;HOC THIERRY
分类号 B81C1/00;H01L21/302 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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