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发明名称 PROCEDE ET EQUIPEMENT DE COLLAGE PAR ADHESION MOLECULAIRE
摘要
申请公布号 FR2894068(B1) 申请公布日期 2008.02.15
申请号 FR20050012009 申请日期 2005.11.28
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 KERDILES SEBASTIEN;DURET CARINE;VAUFREDAZ ALEXANDRE
分类号 H01L21/20;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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