| 发明名称 |
ARCHITEKTUR EINER HALBLEITERVERARBEITUNGSPLATTFORM MIT ISOLATIONSVERMÖGEN FÜR VERARBEITUNGSMODUL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60035172(T2) |
申请公布日期 |
2008.02.14 |
| 申请号 |
DE2000635172T |
申请日期 |
2000.06.15 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
MOORING, BENJAMIN W.;BRIGHT, NICOLAS J. |
| 分类号 |
B65G49/00;H01L21/00;F16K3/18;F16K51/02;H01L21/02;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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