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发明名称
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申请公布号 JP2008504676(A) 申请公布日期 2008.02.14
申请号 JP20070517639 申请日期 2005.06.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/208;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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