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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEN WACHSTUM VON OBJEKTEN MITTELS CHEMISCHER DAMPFPHASENABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号 DE69937878(D1) 申请公布日期 2008.02.14
申请号 DE19996037878 申请日期 1999.03.31
申请人 CREE INC. 发明人 LOEFGREN, PETER;HALLIN, CHRISTER;GU, CHUN YUAN;LIU, YUJING
分类号 C30B25/08;C30B25/12;C23C16/42;C30B25/14;C30B29/36;C30B35/00 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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